Các quận nội thị đầu tiên được lập ra vào ngày 22 tháng 8 năm 1795 khi thành phố (xã) Paris được chia thành 12 quận. Vào lúc đó, Quốc hội không an tâm về các khu tự quản (có hội đồng dân cử) nằm bên trong các thành phố lớn vì cách thức cách mạng của chúng (thí dụ như Paris) hay vì chiều hướng phản-cách mạng của chúng (thí dụ Lyon và nhiều thành phố khác tại các tỉnh). Vì thế, quốc hội quyết định chia các thành phố lớn (mỗi thành phố là một đơn vị xã) của Pháp thành các xã nhỏ hơn. Không như các thành phố lớn khác, Paris không bị tách thành các xã nhỏ hơn mà thành các quận nội thị và liền sau đó khu tự quản trung ương (chính quyền trung ương của thành phố Paris) bị bãi bỏ.

Năm 1805 Napoleon tái lập tất cả các thành phố lớn tại Pháp nhưng vẫn để Paris bị phân tán. Dần dần vào năm 1834, thành phố (xã) Paris được tái hợp có hội đồng tự quản cho toàn thành phố nhưng vẫn không có một thị trưởng. Chính quyền tự quản do tỉnh trưởng của tỉnh Seine và trưởng cơ quan cảnh sát Pháp điều hành. Mười hai quận được giữ vì cần thiết cho việc quản lý hành chính địa phương trong một thành phố lớn và đông dân như Paris.

Ngày 31 tháng 12 năm 1859 chính phủ trung ương mở rộng thành phố Paris bằng cách sáp nhập các xã phụ cận quanh thành phố Paris. Các quận nội thị được tổ chức lại cho thích hợp với sự mở rộng địa giới. Hai mươi quận với ranh giới mới được thiết lập, và chúng vẫn là các quận mà chúng ta thấy ngày nay trong thành phố Paris.

Trường hợp của thành phố Lyon, năm 1852, sau hơn 50 năm do dự, chính phủ trung ương cuối cùng cho phép Lyon sáp nhập các khu vực nằm ngay bên cạnh thành phố. Trước đó các khu vực này đã có dân số cực kỳ đông vào thời cách mạng công nghiệp. Xã Lyon sáp nhập các xã Croix-Rousse, La Guillotière, và Vaise. Vì bất an với diện tích mới của thành phố cũng như quyền lực của khu tự quản Lyon, chính phủ trung ương quyết định phân chia thành phố Lyon thành 5 quận, và chức vụ thị trưởng thành phố bị bãi bỏ. Tỉnh trưởng của tỉnh Rhône được trao quyền cai trị khu tự quản Lyon.

Năm 1881, chức vụ thị trưởng Lyon được tái lập, và (thị) xã Lyon được biến đổi trở lại tình trạng chuẩn của các xã Pháp. Tuy nhiên, các quận nội thị vẫn còn được giữ lại, vì xét thấy cần thiết cho một thành phố đông dân như Lyon. Các quận mới được thành lập trong thành phố Lyon vào các năm 1867, 1912, và 1957 bằng cách chia tách các quận 3 và 7. Năm 1963 Lyon sáp nhập xã Saint-Rambert-l'Île-Barbe. Năm 1964, Quận 9 của Lyon được thành lập sau vụ sáp nhập đó, và như thế thành phố có tổng số quận lên đến 9 như ngày nay.

Năm 1977, chức vụ thị trưởng Paris được tái lập sau gần 183 năm bị bãi bỏ, nhưng các quận vẫn giữ nguyên trạng.

Năm 1982, sau khi Đảng Xã hội thắng tổng tuyển cử Pháp vào năm 1981, họ thông qua một số luật chính nhằm tái định nghĩa quyền lực của các vùng, tỉnh, và xã, với mục tiêu rõ rệt là làm cho nước Pháp giảm bớt trung ương tập quyền. Ngày 31 tháng 12 năm 1982 cái gọi là "Luật PLM" (Loi PLM) được thông qua (PLM là viết tắt của từ Paris Lyon Marseille). Ba (thị) xã này được trao tư cách đặc biệt và chính thức được phân chia thành các quận nội thị. Ở những nơi đã tồn tại các quận nội thị như tại Paris hay Lyon, luật vẫn giữ nguyên ranh giới các quận nội thị đó. Tại thành phố Marseille, nơi không có quận nội thị rõ ràng trước năm 1982, 16 quận được lập ra.

Quận nội thị được trao tư cách chính thức theo luật. Mỗi quận có một tòa nhà hành chính riêng (mairie d'arrondissement), và một quận trưởng riêng (maire d'arrondissement). Lần đầu tiên trong lịch sử, hội đồng quận (conseils d'arrondissement) được thành lập và trực tiếp do cư dân trong quận bầu lên. Các tòa hành chính thành phố (mairies) của Paris, Marseille, và Lyon được giữ tư cách trên các tòa hành chính quận mairies d'arrondissement và thị trưởng (maire) của mỗi thành phố đều trên quyền các quận trưởng maires d'arrondissement.

Tại ba thành phố này, các quận được lập ra là các đơn vị hành chính tiếp xúc với công dân. Đối với các giấy tờ khai sinh, kết hôn hay đối với tất cả các thứ công việc chính thức và giấy tờ khác cần thiết, công dân đến tòa hành chính quận trong khi đó tòa hành chính thành phố không tiếp xúc công dân và chỉ trông coi các vấn đề lớn hơn thí dụ như thuế địa phương hay phát triển kinh tế. Người ta có cảm giác là các quận gần gũi công dân hơn.

Luật này được đông đảo đón nhận, nhưng một số nghi ngờ rằng tại sao nó chỉ được áp dụng cho Paris, Lyon, và Marseille. Ba thành phố này là lớn nhất tại Pháp (2.125.246 tại Paris, 798.430 tại Marseille, và 466.000 tại Lyon) và luật này chỉ có ý định tạo ra đơn vị hành chính địa phương gần gũi công dân tại các thành phố đông dân. Tuy nhiên, nhiều người nghĩ rằng luật này nên được áp dụng cho các thành phố khác, đặc biệt là thành phố đông dân hạng 4 của Pháp là Toulouse (435.000 người), và hạng 5 là Nice (342.738 người); cả hai thành phố này đều phải tiếp xúc con số đông công dân tại hai tòa hành chính trung tâm của mình. Tuy vậy, cho đến nay chỉ có Paris, Lyon, và Marseille được chia thành các quận nội thị.

Năm 1987, luật mới xếp 16 quận của thành phố Marseille vào 8 khu, 2 quận vào một khu (secteur) như có nói ở trên; và tại thành phố Marseille hiện nay chỉ có 8 tòa hành chính quận, mỗi tòa quản lý hai quận nằm trong một khu secteur.